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一种碳化硅粉表面处理工艺方法,是将碳化硅粉和酸性溶液按体积比7:3的比例加入除杂反应釜中除去Fe2O3等杂质,将分离得到的碳化硅粉用弱碱性溶液洗至中性,再用去离子水清洗后干燥,然后再和有机硅、有机氟、乙醇、水组成的表面处理剂按1:1的比例在...
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