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本实用新型公开了一种用于半导体热处理的立式氧化炉测温装置，在耐高温石英外套管内插有两支热偶，两支热偶的测量端沿外套管的轴向距离介于外套管在氧化炉内的初始安装高度至其行程高度之间，本实用新型通过将两支测量端具有一定距离的热偶与外套管组合使用，...
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