下载多光束整形激光加工系统的技术资料

文档序号:10214564

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本实用新型公开了一种多光束整形激光加工系统,它包括沿激光光路方向依次布置的激光器、柱面凹透镜、柱面凸透镜、一维衍射光学元件和聚焦透镜。本实用新型这种多光束整形激光加工系统,能够改善常见紫外纳秒激光加工设备的加工效果,提高加工效率。...
该专利属于苏州兰叶光电科技有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过苏州兰叶光电科技有限公司授权不得商用。

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