下载一种基板移载装置及基板镀膜生产系统的技术资料

文档序号:10211571

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本实用新型涉及镀膜生产设备技术领域,尤其涉及一种基板移载装置及设有该基板移载装置的基板镀膜生产系统,具体地是一种易调试型基板移载装置及设有该基板移载装置的基板镀膜生产系统。该基板移载装置包括:框架主体和横杆,所述横杆的两端与所述框架主体通过...
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