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流体动压半接触固结磨料抛光装置制造方法及图纸
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文档序号:10206269
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本实用新型公开了一种流体动压半接触固结磨料抛光装置,包括由抛光头和粘接在抛光头上的抛光垫组成的抛光盘、工件装卡工作台以及冷却液供给系统,所述抛光盘为中间带孔的环形结构,冷却液由抛光盘的中心孔注入抛光垫与工件的间隙中而后从抛光垫周围自然排出。...
该专利属于天津大学所有,仅供学习研究参考,未经过天津大学授权不得商用。
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