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一种高附着力氮氧钛铝/钛铝复合膜的制备方法，其制备方法包括：1、沉积技术及靶材成分的确定；2、基体工件的选择与前处理；3、基体工件悬挂方位的确定；4、真空加热处理；5、预轰击工艺的确定；6、沉积工艺的确定。本发明提高了膜层与基体之间的附着力...
该专利属于沈阳大学所有，仅供学习研究参考，未经过沈阳大学授权不得商用。

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