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本实用新型公开了一种太赫兹波气体浓度传感装置，它包括品质因子大于5000的一维光子晶体谐振腔和气室，一维光子晶体谐振腔包括半导体基片、气体层和缺陷层，半导体基片的数量为大于等于6的偶数个；缺陷层由气体构成，缺陷层与气室连通，缺陷层的两侧置有...
该专利属于中国计量学院所有，仅供学习研究参考，未经过中国计量学院授权不得商用。

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