下载用于制作电感应器和相关感应器装置的方法的技术资料

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一种方法用于制作电感应器。该方法包括:形成第一子单元,其具有牺牲基板和在该牺牲基板上的导电层,所述导电层限定电感应器,并且包括第一金属。该方法包括:形成第二子单元,其具有介电层和在该介电层上的导电层,所述导电层限定电感应器端子,并且具有第一...
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