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部件基材上具有第一缝隙形成元件和固定部分，在第一缝隙形成元件和固定元件上形成可移动元件，在可移动元件上形成第二缝隙形成元件。除去第一缝隙形成元件，在掩模图案下涂布并曝光壁材料。壁材料形成图案以完全形成液体流路壁和液体供应端口，并且除去第二缝...
该专利属于佳能株式会社所有，仅供学习研究参考，未经过佳能株式会社授权不得商用。

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