下载具有基本上正交的钉扎方向的双轴磁场传感器的技术资料

文档序号:10185691

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一种制造处理和装置从两种差分传感器配置(502、512)提供了高性能的磁场传感器(200),只需要由蚀刻成高纵横比形状的单个参考层形成的两个不同的钉扎轴,其长轴(506、516)关于不同的朝向延伸,使得所述高纵横比构图提供迫使每个构图形状的...
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