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用于通过真空蒸发沉积薄膜的装置的喷射系统制造方法及图纸
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下载用于通过真空蒸发沉积薄膜的装置的喷射系统的技术资料
文档序号:10182450
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本发明涉及一种用于通过真空蒸发沉积薄层的装置的喷射系统,所述喷射系统包括用于接纳待蒸发材料源的容器、用于加热所述容器从而能蒸发所述材料的装置、至少一个喷射架,所述喷射架包括与所述容器链接以接纳来自所述容器的所述蒸发材料的内导管和多个喷嘴,各...
该专利属于瑞必尔所有,仅供学习研究参考,未经过瑞必尔授权不得商用。
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