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一种复合式沉积系统，包含一腔体、一抽气泵浦、一气体供应源、一阴极电弧源、一高功率脉冲磁控溅镀源与一基板。抽气泵浦与腔体内部连通以改变腔体的气压。气体供应源与腔体内部连通，并提供一气体进入腔体。阴极电弧源与腔体连接，阴极电弧源包含一第一靶材，...
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