下载薄膜晶体管的技术资料

文档序号:10171434

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一种薄膜晶体管,包括栅极、沟道层、位于栅极和沟道层之间的栅绝缘层以及位于沟道层相对的两侧并分别与沟道层相接触的源极和漏极,该沟道层的至少一侧表面上形成有有机阻气层。该种薄膜晶体管的有机阻气层能够保护沟道层不受外部环境的影响同时也不影响薄膜晶...
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