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单晶炉加料器及包括其的单晶炉制造技术
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文档序号:10163410
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本实用新型公开了一种单晶炉加料器及包括其的单晶炉。单晶炉加料器包括一料筒、一固设在料筒中部的支撑套管、一可活动地穿设在支撑套管内部的连杆、一设于料筒上方且与连杆的上端固定连接的配重块、一用于控制配重块升降的连杆升降系统,其中,料筒包括自上而...
该专利属于上海合晶硅材料有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过上海合晶硅材料有限公司授权不得商用。
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