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运用喷墨打印工艺制备叉指换能器和反射栅的方法技术
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文档序号:10160199
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一种运用喷墨打印工艺制备叉指换能器和反射栅的方法。该方法包括:叉指换能器及反射栅的实验参数设计;压电基片的选择;喷墨打印的墨水选择;工艺步骤等。此方法与传统的微电子工艺相比,具有制造速度快、环境友好、工艺过程简单、成本低以及功能多样化的特点...
该专利属于天津理工大学所有,仅供学习研究参考,未经过天津理工大学授权不得商用。
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