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本发明揭示了一种光纤放大器动态增益斜率均衡器及其制备工艺，所述均衡器包括通过光学封装的MEMS光学微镜驱动器芯片和双光纤准直器；MEMS光学微镜驱动器芯片包括第一光学微反射镜、第二光学微反射镜、微位移调节单元；微位移调节单元用以控制第一光学...
该专利属于微机电科技香港有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过微机电科技香港有限公司授权不得商用。

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