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本实用新型为化学气相沉积设备的工件装卡工具,解决现有装卡工具装卡工件大小受限、工件与舟皿接触面的接触痕迹明显以及部分工件遮挡舟皿通孔，阻碍反应炉内气体的流动，导致反应炉内各工件的涂层厚度和颜色不均匀的问题,由正棱锥体或圆锥体与同轴的位于正棱...
该专利属于成都工具研究所有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过成都工具研究所有限公司授权不得商用。

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