下载一种五维对心平台的技术资料

文档序号:10130891

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本实用新型涉及精调设备技术领域,尤其涉及一种五维对心平台。五维对心平台包括底座,以及设置在底座上且相对于底座的位置可调的检测探头安装装置和五维调节装置;所述检测探头安装装置上安装有检测探头,所述检测探头安装装置能够调整检测探头在X、Y方向上...
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