专利查询
首页
专利评估
登录
注册
当前位置:
首页
>
专利查询
>
富士通株式会社
>
具有可动部的电气设备及其制造方法技术
>技术资料下载
下载具有可动部的电气设备及其制造方法的技术资料
文档序号:10124009
温馨提示:您尚未登录,请点
登陆
后下载,如果您还没有账户请点
注册
,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。
形成具有翘曲被抑制的可动部的电气设备。在形成在衬底上的第一种子层上并与第一空间区域相邻的位置,通过镀敷形成至少一个第二金属材料的台座部和相向电极,利用第一牺牲层填埋第一空间区域,利用相同的抗蚀图案,通过连续镀敷,形成从第一牺牲层上延伸至台座...
该专利属于富士通株式会社所有,仅供学习研究参考,未经过富士通株式会社授权不得商用。
详细技术文档下载地址
温馨提示:您尚未登录,请点
登陆
后下载,如果您还没有账户请点
注册
,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。