下载各向异性磁阻传感器垂直结构的技术资料

文档序号:10112265

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本实用新型提供的一种各向异性磁阻传感器垂直结构,该结构包括:半导体衬底;第一绝缘层,覆盖该半导体衬底;磁性电阻金属条,位于该第一绝缘层上;接触金属层,位于该磁性电阻金属条上;磁阻金属短路条,位于该接触金属层上;第二绝缘层,覆盖该磁阻金属短路...
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