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双磁场复推型真空电弧蒸发源制造技术
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文档序号:10108470
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本实用新型属于一种双磁场复推型真空电弧蒸发源,包括安装基体(5)、阴极靶材(3)、压板(16)、引弧装置固定板(8)和压盖(9),其特征在于安装基体(5)上缠有外磁场线圈(1);在压盖(9)的中心装有铁芯(12),在铁芯(12)上缠有内磁场...
该专利属于陈大民所有,仅供学习研究参考,未经过陈大民授权不得商用。
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