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电弧蒸发源二次放电细化颗粒装置制造方法及图纸
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文档序号:10108469
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本实用新型属于一种电弧蒸发源二次放电细化颗粒装置,包括潘宁放电管的壳体(17),其特征在于在壳体(17)的腔内装有磁过滤筒(5),磁过滤筒(5)与壳体(17)之间缠有弧斑驱动电磁线圈(1)、磁镜线圈A(3)和磁镜线圈B(16);在磁镜阱(8...
该专利属于陈大民所有,仅供学习研究参考,未经过陈大民授权不得商用。
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