下载用于准备吸附性基底的工艺以及用于基底的集成处理系统的技术资料

文档序号:10102145

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此处提供一种用于处理基底的工艺,该基底由吸附性材料组成。吸附性材料可以是例如聚酯的吸收性合成材料。将材料设计成用于清洁超净环境中的表面。该工艺首先包括将吸附性材料卷退卷为基底进入清洁系统中。清洁系统使用几个段。这些包括预清洗段、声能清洗段以...
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