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本申请涉及制造电容式加速度传感器的方法和电容式加速度传感器。其中，本发明涉及用于测量加速度的测量装置，更具体而言涉及电容式加速度传感器。本发明的目的是提供一种改进的制造电容式加速度传感器的方法，并且提供一种电容式加速度传感器，其适合于在小型...
该专利属于穆拉塔电子有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过穆拉塔电子有限公司授权不得商用。

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