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一种无接触破碎多晶硅的方法技术
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文档序号:10096990
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本发明公开了一种无接触破碎多晶硅的方法,更具体的说,本发明公开了一种利用激光技术破碎多晶硅的方法。本发明的无接触破碎多晶硅的方法,把至少一束激光射向多晶硅棒或者多晶硅块,多晶硅棒或者多晶硅块的表面或者体内的局部区域吸收激光能量后,该多晶硅棒...
该专利属于亚洲硅业(青海)有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过亚洲硅业(青海)有限公司授权不得商用。
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