下载一种频率和带宽可调的射频滤波器的技术资料

文档序号:10093867

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本发明公开了一种频率和带宽可调的射频滤波器,谐振单元由谐振传输线构成,馈电传输线的结构与谐振传输线的结构相同,谐振传输线包括由上往下依次分布的金属栅层、二氧化硅层和原始高掺杂层;在金属栅层上加偏置电压后,原始高掺杂层内形成由上往下分布的沟道...
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