下载一种离子输运装置的技术资料

文档序号:10091292

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本发明涉及一种离子输运装置,其特征在于,包括连接套筒、收集狭缝板、收集透镜组、矫正磁铁、分子泵和辅助收集透镜组,所述收集狭缝板上设置有收集狭缝,所述收集透镜组、矫正磁铁、分子泵和辅助收集透镜组按照离子束传输的方向依次设置在所述收集狭缝板的后...
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