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一种温度不敏感光纤光栅加速度传感器制造技术
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文档序号:10090418
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本发明提供了一种温度不敏感光纤光栅加速度传感器,采用双矩形悬臂梁结构,该双矩形悬臂梁结构包括第一至第四悬臂梁、惯性质量块以及第一和第二悬臂梁固定端,所述惯性质量块位于四个悬臂梁的几何中心,并固定于四个悬臂梁上或联为一个整体,第一和第二悬臂梁...
该专利属于西安石油大学所有,仅供学习研究参考,未经过西安石油大学授权不得商用。
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