下载一种Mg掺杂P型GaN外延生长方法的技术资料

文档序号:10090244

温馨提示:您尚未登录,请点 登陆 后下载,如果您还没有账户请点 注册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。

本发明提供一种Mg掺杂P型GaN外延生长方法,其二极管外延片结构从下向上的顺序依次为:衬底、中温GaN缓冲层、N型GaN层、浅量子阱、复合量子阱层、P型GaN层、P型AlGaN层、P型GaN层、P型接触层、P型变量掺杂层,在InGaN/Ga...
该专利属于合肥彩虹蓝光科技有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过合肥彩虹蓝光科技有限公司授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示:您尚未登录,请点 登陆 后下载,如果您还没有账户请点 注册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。