下载一种多晶硅片制绒方法及制绒液的技术资料

文档序号:10086298

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本发明提供一种多晶硅片制绒方法及制绒液。现有技术中仅通过含有氧化剂和氢氟酸的多晶硅片制绒液对多晶硅片进行制绒导致绒面反射率较高,且易导致对缺陷密集区域过腐蚀从而造成强度降低和效率降低。本发明的多晶硅片制绒方法先腐蚀去除多晶硅片表面的损伤层,...
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