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本发明涉及一种模块化曝光系统，该曝光系统包括：用于对具有光敏介质层的曝光基体进行曝光的曝光机构；用于使曝光基体与曝光机构进行相对运动的传动机构，其中曝光机构包括多个曝光模块，该曝光系统进一步包括用于对曝光机构中的曝光模块进行检测的故障检测机...
该专利属于深圳市大族激光科技股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过深圳市大族激光科技股份有限公司授权不得商用。

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