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本发明涉及基于薄膜晶体管的微波毫米波集成电路、功率交换电路及其制作方法，使在制作该集成电路的有源和无源器件后，不需研磨，蚀刻及打薄基座或衬底。同时也提供以不具毒性的制作的有源器件。利用不具毒性的半导体制作薄膜晶体管的毫米波集成电路并不需研磨...
该专利属于石以瑄;邱树农;邱星星;石宇琦所有，仅供学习研究参考，未经过石以瑄;邱树农;邱星星;石宇琦授权不得商用。

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