下载硅锭的开方方法的技术资料

文档序号:10070437

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本发明提供了一种硅锭的开方方法,包括:在晶托具有缝隙的一面上铺设隔离膜,隔离膜用于将晶托与待开方的硅锭隔离;在隔离膜上喷射发泡胶,发泡胶在发泡过程中填充于缝隙内;将硅锭置于晶托上,使发泡胶粘接硅锭;将承托有硅锭的晶托置于开方机的切割室内,对...
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