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本发明涉及一种板式PECVD石墨块镀膜用挂钩组件，包括挂钩和挡片，石墨框上设有多个用于放置硅片的框格，所述的挂钩设置在石墨框的框格四周，所述的挡片设置在硅片四周，所述的挂钩包括本体和本体两侧的钩体，所述的钩体的钩间距≤2.5mm，钩体内侧呈...
该专利属于上海神舟新能源发展有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过上海神舟新能源发展有限公司授权不得商用。

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