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微机械固支梁式π型连续可重构微波带通滤波器制造技术
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文档序号:10068624
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本发明的微机械固支梁式π型连续可重构微波带通滤波器通过采用一个平面螺旋电感,并且在该平面螺旋电感的左右两侧依次对称放置两个相同的MEMS可变平行板电容和两个相同的MIM电容,其中每个MEMS可变平行板电容并联连接到CPW信号线和地线之间而每...
该专利属于东南大学所有,仅供学习研究参考,未经过东南大学授权不得商用。
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