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本实用新型涉及一种用于干法硅烷制造的硅烷发生器，其包括发生器筒体、若干层隔料板、主轴以及搅拌电机；其中，所述若干层隔料板收容于发生器筒体内，并呈堆叠设置；所述主轴竖直延伸入发生器筒体内，其顶部连接所述搅拌电机；于所述主轴上设有若干卡箍，各卡...
该专利属于李耀文所有，仅供学习研究参考，未经过李耀文授权不得商用。

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