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本实用新型涉及多晶硅领域,具体涉及一种流化床多晶硅颗粒的制备装置,包括流化床反应器、旋风分离器、细硅颗粒晶种罐和硅颗粒加料罐;流化床反应器包括流化床反应器筒体和流化床扩大段;流化床反应器筒体底部设有产品出料口,下部设有硅源气体进料口和稀释气...该专利属于浙江精功新材料技术有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过浙江精功新材料技术有限公司授权不得商用。
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本实用新型涉及多晶硅领域,具体涉及一种流化床多晶硅颗粒的制备装置,包括流化床反应器、旋风分离器、细硅颗粒晶种罐和硅颗粒加料罐;流化床反应器包括流化床反应器筒体和流化床扩大段;流化床反应器筒体底部设有产品出料口,下部设有硅源气体进料口和稀释气...