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一种用于晶圆级植球机的搭载平台，包括底部X轴运动系统、底部Y轴运动系统、底部Z轴运动系统、外圈z轴运动机构、内圈Z轴运动机构、晶圆支撑柱、搭载平台外圈和搭载平台内圈，在搭载平台外圈、搭载平台内圈和晶圆支撑柱上分别设有真空吸附孔。本发明采用高...
该专利属于上海微松工业自动化有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过上海微松工业自动化有限公司授权不得商用。

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