下载通过零距离材料转移沉积形成薄层的方法的技术资料

文档序号:10049710

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本发明涉及一种用来在基体上形成一层材料的方法,该方法包括以下步骤:将具有熔点或最小软化温度的半导体多晶或无定形材料的材料源与基体接触;在一个时间段内使所述材料源和基体之间形成一个温度差,其中,所述材料源的温度处于第一温度范围,其平均温度为第...
该专利属于通用电气公司所有,仅供学习研究参考,未经过通用电气公司授权不得商用。

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