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本发明公开了一种用于产生低温等离子体的双极性脉冲电源，用于向产生低温等离子体的低温等离子体反应器供电，包括主电路和控制电路；所述主电路由三相整流滤波电路、IGBT变换电路和升压电路组成；所述控制电路由单片机控制电路、IGBT控制电路以及操作...
该专利属于浙江大学所有，仅供学习研究参考，未经过浙江大学授权不得商用。

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