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气体分析装置及其使用的污垢检测方法制造方法及图纸
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文档序号:10023895
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本发明提供气体分析装置及其使用的污垢检测方法。气体分析装置包括:气体注入机构(3),向试样气体流动的流动通道(11)中注入吸附性的注入气体;气体测量机构(21),能测量与在所述流动通道(11)中流动的吸附性气体的量相关联的值;污垢判断部(4...
该专利属于株式会社堀场制作所所有,仅供学习研究参考,未经过株式会社堀场制作所授权不得商用。
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