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一种输入位置控制的多模干涉型光开关及其制备方法技术
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文档序号:10021531
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本发明公开了一种输入位置控制的多模干涉型光开关,包括平面光波光路芯片、光源、输入光纤阵列和电动自动调芯装置,平面光波光路芯片包括硅衬底、二氧化硅缓冲层、波导,以及覆盖层,波导包括输入级单模波导、中间级多模波导和n个输出级单模波导;光源与输入...
该专利属于东南大学所有,仅供学习研究参考,未经过东南大学授权不得商用。
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