下载一种输入位置控制的多模干涉型光开关及其制备方法的技术资料

文档序号:10021531

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本发明公开了一种输入位置控制的多模干涉型光开关,包括平面光波光路芯片、光源、输入光纤阵列和电动自动调芯装置,平面光波光路芯片包括硅衬底、二氧化硅缓冲层、波导,以及覆盖层,波导包括输入级单模波导、中间级多模波导和n个输出级单模波导;光源与输入...
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