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本发明属于微纳器件技术领域，具体为一种SERS探针分子自收集微管及其制备方法和应用。制备方法包括：准备一个衬底，在衬底上面存在牺牲层；在牺牲层上面沉积具有内应力的不同材料的薄膜层；其中沉积的薄膜层材料或可提供较好的SERS特性，或可催化分解...
该专利属于复旦大学所有，仅供学习研究参考，未经过复旦大学授权不得商用。

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