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一用来将基底从第一部位传送到第二部位的装置，该装置包括：一柔性的传输装置；多个安装至所述传输装置上的传送单元，所述传送单元能保持所述基底；一凸轮轨道，它形成一在所述第一部位和第二部位之间的路径；以及沿所述凸轮轨道驱动所述传输装置的装置。...
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