下载光纤制造废氦气在线式纯化系统的技术资料

文档序号:10014370

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本发明公开了一种光纤制造废氦气在线式纯化系统,包括回收单元、膜分单元、供气单元,回收单元包括集气罐、增压泵,膜分单元包括吸附器、膜分离器、缓冲罐、纯度分析仪,供气单元包括稳压罐、调压阀。本发明采用高压吸附与膜分技术相结合的模式,实现富氦尾气...
该专利属于安徽万瑞冷电科技有限公司;中国电子科技集团公司第十六研究所所有,仅供学习研究参考,未经过安徽万瑞冷电科技有限公司;中国电子科技集团公司第十六研究所授权不得商用。

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