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本发明涉及一种三维封装结构及其制造方法。该三维封装结构包括第一半导体装置和第二半导体装置,第一半导体装置包括位于底层的第一衬底和位于中间的第一器件层,以及位于顶层的第一键合层,第一键合层包括一个或多个第一焊垫、一个或多个与第一器件层中的器件...该专利属于格科微电子(上海)有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过格科微电子(上海)有限公司授权不得商用。
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