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本实用新型实施例公开了一种低温等离子体处理装置，其中，一种低温等离子体处理装置包括：进行等离子体反应的反应室，所述反应室内侧设置有第一电极板和第二电极板，第一电极板与所述反应室外壳绝缘，第二电极板与所述反应室外壳一起接地；所述反应室设置有进...
该专利属于南方科技大学所有，仅供学习研究参考，未经过南方科技大学授权不得商用。

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