一种高剩余极化强度的BiFe1-XMnXO3 铁电薄膜及其制备方法技术

一种高剩余极化强度的BiFe1-xMnxO3铁电薄膜及其制备方法，x=0.02～0.08，该薄膜为扭曲的钙钛矿结构，菱形晶系，均匀性好，在1kHz频率下，其剩余极化强度为100～130.4μC/cm2。制备方法：按摩尔比为1.05:(1-x):x将硝酸铋、硝酸铁和乙酸锰溶于乙二醇甲醚和醋酸酐混合而成的混合液中，得前驱液；在基片上旋涂前驱液，匀胶后烘烤得干膜，再退火，得BiFe1-xMnxO3薄膜，重复旋涂前驱液、烘烤、退火至达到所需的薄膜厚度，得高剩余极化强度的BiFe1-xMnxO3铁电薄膜。本发明专利技术设备要求简单，掺杂量易控，能够大幅度提高BiFeO3薄膜的铁电性能和介电性能。

【技术实现步骤摘要】

【技术保护点】
一种高剩余极化强度的BiFe1?xMnxO3铁电薄膜，其特征在于：其化学式为BiFe1?xMnxO3，x=0.02～0.08，在1kHz频率下，其剩余极化强度为100～130.4μC/cm2，介电常数为208.9～425.1。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：谈国强，耶维，
申请(专利权)人：陕西科技大学，
类型：发明
国别省市：