本发明专利技术提供一种基板制造装置，其底层基板保持于涂布台。喷嘴单元与保持于涂布台的底层基板对置，并从多个喷嘴孔朝向底层基板吐出薄膜材料的液滴。在贮存槽中蓄积薄膜材料。供给系统从贮存槽向喷嘴单元供给薄膜材料。第1热源对贮存槽进行加热。第1温度传感器对贮存槽的温度进行测定。第2热源对供给系统的至少一处进行加热。第2温度传感器对供给系统的至少一处的温度进行测定。温度控制装置根据第1温度传感器及第2温度传感器的测定结果对第1热源及第2热源进行控制，以使贮存槽内的薄膜材料的温度与在供给系统中流动的薄膜材料的温度限制在温度的目标范围内。
【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】【专利摘要】本专利技术提供一种基板制造装置，其底层基板保持于涂布台。喷嘴单元与保持于涂布台的底层基板对置，并从多个喷嘴孔朝向底层基板吐出薄膜材料的液滴。在贮存槽中蓄积薄膜材料。供给系统从贮存槽向喷嘴单元供给薄膜材料。第1热源对贮存槽进行加热。第1温度传感器对贮存槽的温度进行测定。第2热源对供给系统的至少一处进行加热。第2温度传感器对供给系统的至少一处的温度进行测定。温度控制装置根据第1温度传感器及第2温度传感器的测定结果对第1热源及第2热源进行控制，以使贮存槽内的薄膜材料的温度与在供给系统中流动的薄膜材料的温度限制在温度的目标范围内。【专利说明】基板制造装置
本专利技术涉及一种从喷嘴孔朝向底层基板吐出已加热的薄膜材料来形成薄膜的基板制造装置。
技术介绍
已知有从喷嘴头吐出薄膜材料的液滴，在作为对象物的底层基板的表面形成具有预定图案的薄膜的技术(例如专利文献I)。应形成薄膜的对象物例如为印刷基板，薄膜材料为阻焊剂。为了使对象物相对于喷嘴头移动，对象物保持于XY载物台等可动载物台。液状薄膜材料，从循环装置经供给系统配管供给于喷嘴头，剩余的薄膜材料经回收系统的配管回收到循环装置。为了维持薄膜材料的良好循环，优选对薄膜材料进行加热来降低粘度。专利文献1:日本特开2004-104104为了恒定地维持从喷嘴孔吐出的薄膜材料的液滴的体积，优选在喷嘴头内使薄膜材料的温度与目标温度相等。若考虑将薄膜材料输送至喷嘴头的配管内的温度的下降，则必须在循环系统的上游侧，将薄膜材料加热至高于喷嘴头内的目标温度的温度。然而，若使薄膜材料的温度过高，则有时薄膜材料会变质(具体为进行固化)。
技术实现思路
本专利技术的目的在于，提供一种能够抑制薄膜材料的温度过度上升，且在喷嘴孔的位置接近目标温度的基板制造装置。根据本专利技术的一个观点，提供一种基板制造装置，其具有:涂布台，其保持应形成薄膜的底层基板；喷嘴单元，其与保持于所述涂布台的底层基板对置，并从多个喷嘴孔朝向所述底层基板吐出薄膜材料的液滴；贮存槽，对薄膜材料进行蓄积；供给系统，从所述贮存槽向所述喷嘴单元供给所述薄膜材料；第I热源，对所述贮存槽进行加热；第I温度传感器，对所述贮存槽的温度进行测定；第2热源，对所述供给系统的至少一处进行加热；第2温度传感器，对所述供给系统的至少一处的温度进行测定；及温度控制装置，根据所述第I温度传感器及所述第2温度传感器的测定结果，对所述第I热源及所述第2热源进行控制，以使所述贮存槽内的薄膜材料的温度与在所述供给系统中流动的薄膜材料的温度，限制在温度的目标范围内。由于薄膜材料的温度控制成限制在温度的目标范围内，因此，能够在喷嘴孔的位置使薄膜材料的温度接近目标温度，并且在薄膜材料的供给路径的上游抑制薄膜材料的温度过度上升。【专利附图】【附图说明】图1是实施例1的基板制造装置的概略图。图2是实施例1的基板制造装置的支承板的俯视图。图3是实施例1的基板制造装置的支承板的仰视图。图4是实施例1的基板制造装置的隔离板及搭载于其内部的部件的剖视图。图5是实施例1的基板制造装置的循环器的概略图。图6是实施例1的基板制造装置的供给用配管的剖视图。图7是实施例1的变形例的基板制造装置的供给用配管的螺旋状部分的侧视图。图8是实施例2的基板制造装置的概略图。图9是实施例3的基板制造装置的概略图。图10是实施例4的基板制造装置的概略图。图11是实施例5的基板制造装置的侧视图。图12中，图12A及图12B分别是薄膜材料吐出装置中I个喷嘴头的仰视图及剖视图。图13是薄膜材料吐出装置及底层基板的侧视图。图14中，图14A是以2维方式示出应形成的薄膜图案的光栅格式的图像数据的图，图14B是喷嘴头及底层基板的侧视图。图15中，图15A是作为光栅格式的图像数据以2维方式示出形成于印刷配线板的薄膜图案的图，图15B是向X轴方向延伸的喷嘴头及印刷配线板的侧视图。图16是实施例5的基板制造装置的控制系统的框图。图17中，图17A是作为光栅格式的图像数据示出加进喷嘴头的热膨胀而形成在底层基板的薄膜图案的图，图17B是喷嘴头及底层基板的侧视图。图18是在底层基板上形成薄膜图案时的底层基板与喷嘴头的俯视图。图19是实施例7的基板制造装置的概略图。图20中，图20A是定位站所具备的定位装置的概略图，图20B是表示搬送到定位站并吸附保持于卡盘板的基板的俯视图，图20C是表示吸附保持于Θ校正后的卡盘板的基板的俯视图。图21中，图21A是涂布站所具备的液滴吐出装置的概略图，图21B是液滴吐出装置的喷嘴单元附近的侧视图。图22中，图22A是喷嘴单元的立体图，图22B是喷嘴单元的仰视图，图22C是喷嘴单元的概略性俯视图。图23是实施例8的基板制造装置的概略图。图24中，图24A是表示基于薄膜图案的设计值的位图图像的图，图24B是表示校正后的位图图像的图。【具体实施方式】图1中示出实施例1的基板制造装置的概略图。在基座10支承有X方向移动机构11。Y方向移动机构12支承于X方向移动机构11。X方向移动机构11使Y方向移动机构12向相对于水平面平行的xy面内的X方向移动。涂布台13支承于Y方向移动机构12。Y方向移动机构12使涂布台13向y方向移动。涂布台13在其上表面(保持面)保持并吸附对象物(底层基板)15。对象物15例如为未形成有阻焊剂的印刷基板。在涂布台13的上方配置有薄膜材料吐出装置20。薄膜材料吐出装置20包括多个喷嘴头21。喷嘴头21与保持在涂布台13的对象物15对置。在与对象物15对置的面形成有多个喷嘴孔。从喷嘴头21的喷嘴孔朝向对象物15吐出薄膜材料的液滴。例如通过压电元件进行液滴的吐出。使对象物15向X方向或y方向移动的同时，在预定的时刻从预定喷嘴孔吐出液滴，由此能够在对象物15的表面形成薄膜图案。多个喷嘴头21支承于支承板24。在各个喷嘴头21安装有用于驱动压电元件的驱动电路基板22。在支承板24搭载有多个歧管23。例如相对于4个喷嘴头21配备有I个歧管23。在支承板24搭载有循环装置40。液状薄膜材料从循环装置40经供给用配管30供给于各歧管23。液状薄膜材料从各歧管23经回收用配管31回收到循环装置40。循环装置40将经回收用配管31回收的薄膜材料送出于供给用配管30。各个歧管23向多个喷嘴头21分配被供给的薄膜材料。在循环装置40内配置有加热器(热源)43。加热器43对循环的薄膜材料进行加热。在供给用配管30及回收用配管31各自的周围也配置有多个加热器(热源)70。加热器43上安装有温度仪(温度传感器)32，在多个加热器70的各个加热器上安装有温度仪(温度传感器)33。温度仪32、温度仪33的输出向温度控制装置35输入。温度控制装置35根据温度仪32及温度仪33的输出对加热器43及加热器70进行控制。图1中仅对I根供给用配管30表示加热器70及温度传感器33，但实际上，在所有供给用配管30及所有回收用配管31上配置有加热器70及温度传感器33。并且，加热器70遍及从连接于循环装置40的端部至连接于歧管23的端部的整个长度而配置。该加热器70通过温度控制装置35控制，由此能够将循环的薄膜材料的温度维持为目标温度。另外，当薄膜材料在供给用配管30中流动时的温度的下降量较少时，也可不在本文档来自技高网...
【技术保护点】
一种基板制造装置，其中，具有：涂布台，保持应形成薄膜的底层基板；喷嘴单元，与保持于所述涂布台的底层基板对置，并从多个喷嘴孔朝向所述底层基板吐出薄膜材料的液滴；贮存槽，对薄膜材料进行蓄积；供给系统，从所述贮存槽向所述喷嘴单元供给所述薄膜材料；第1热源，对所述贮存槽进行加热；第1温度传感器，对所述贮存槽的温度进行测定；第2热源，对所述供给系统的至少一处进行加热；第2温度传感器，对所述供给系统的至少一处的温度进行测定；及温度控制装置，根据所述第1温度传感器及所述第2温度传感器的测定结果，对所述第1热源及所述第2热源进行控制，以使所述贮存槽内的薄膜材料的温度与在所述供给系统中流动的薄膜材料的温度限制在温度的目标范围内。
【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】...
【专利技术属性】
技术研发人员：中森靖仁，矶圭二，冈本裕司，白石达朗，市川英志，内海和晴，
申请(专利权)人：住友重机械工业株式会社，
类型：
国别省市：
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