本发明专利技术提供一种加热炉、其控制装置、其控制方法及存储介质。在加热炉的控制装置（100）中，控制部（101）按照第一条件及第二条件使供给部动作。第一条件为用于以在加热炉的炉内对被加热物进行热处理的第一状态维持该加热炉的炉内的状态的条件。第二条件为用于以能耗量比将加热炉的炉内维持在第一状态的能耗量低的状态控制供给部的条件。控制部（101）在使供给部以第二条件动作的情况下，在直到应使加热炉恢复到第一状态的时刻的剩余时间为基准恢复时间以下时，以将加热炉维持在第一状态的方式使供给部动作。
【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】【专利摘要】本专利技术提供一种加热炉、其控制装置、其控制方法及存储介质。在加热炉的控制装置（100）中，控制部（101）按照第一条件及第二条件使供给部动作。第一条件为用于以在加热炉的炉内对被加热物进行热处理的第一状态维持该加热炉的炉内的状态的条件。第二条件为用于以能耗量比将加热炉的炉内维持在第一状态的能耗量低的状态控制供给部的条件。控制部（101）在使供给部以第二条件动作的情况下，在直到应使加热炉恢复到第一状态的时刻的剩余时间为基准恢复时间以下时，以将加热炉维持在第一状态的方式使供给部动作。【专利说明】加热炉、其控制装置、其控制方法及存储介质
本专利技术涉及加热炉的控制，特别涉及合适的方式下的加热炉的能耗的降低。
技术介绍
以往，关于能耗的降低，进行了各种研究，其中，关于产业领域中的能耗的降低，提出了各种技术。例如，在非专利文献I (伊藤贞芳、村上友康、领木直矢、田端大助、松田直子、中裕之，“根据节能方案技术的节能领航工厂的实现”，Panasonic Technical JournalVol.57N0.1Apr.2011，,平成23年4月，检索日(平成23年9月20日)，网址〈URL:http://panasonic.c0.jp/ptj/v5701/pdf/p0106.pdf>)中公开有在工厂内使用的用于削减能源的技术。在该技术中，在回流焊炉、干燥炉及烧结炉等的生产待机状态下，导入降低给排气风量的节能待机模式。非专利文献1:伊藤贞芳、村上友康、领木直矢、田端大助、松田直子、中裕之，“根据节能方案技术的节能领航工厂的实现”，Panasonic Technical JournalVol.57N0.1Apr.2011，,平成23年4月，检索日(平成23年9月20日)，网址URL:http://Panasonic, c0.jp/pti/v5701/pdf/p0106.pdf。能源问题是始终需要研究的问题。其中，特别是谋求工厂内的能耗降低的情况，需要考虑兼顾产品的生产效率的维持。
技术实现思路
本专利技术是鉴于上述情况而设立的，其目的在于实现兼顾工厂内的能耗的降低和生产效率的维持。本实施方式的控制装置为具备用于控制向加热炉的炉内供给能源的供给部的动作的控制部的加热炉的控制装置。控制部按照第一条件使供给部动作，所述第一条件用于以在加热炉的炉内对被加热物进行热处理的第一状态维持该加热炉的炉内的状态，在规定的条件成立的情况下，使供给部按照第二条件动作，该第二条件用于以能耗量比维持在第一状态的能耗量低的状态控制加热炉的炉内的状态。控制装置还具备用于存储基准恢复时间的存储部，所述基准恢复时间是从供给部按照第二条件动作的状态直到使加热炉恢复到第一状态所需的时间。控制部在使供给部以第二条件动作的情况下，在直到应使加热炉恢复到第一状态的时刻的剩余时间为基准恢复时间以下时，以使加热炉维持在第一状态的方式使所述供给部动作。优选的是，作为第二条件的内容，存储部存储多个内容，关于第二条件的多个内容的每一个，控制部测量并提示从按照该第二条件的控制起到使加热炉恢复到第一状态需要的时间即预备恢复时间、和供给部消耗的能量即耗能量。优选的是，还具备用于输入基准恢复时间的输入部，控制部在预备恢复时间和耗能量的测量结果中，提示作为基准恢复时间向输入部输入的时间为预备恢复时间的情况下的、与该预备恢复时间对应的耗能量。优选的是，在按照第二条件的控制中，控制部暂时停止由供给部进行的向加热炉供给能源。优选的是，第一状态为加热炉的炉内的温度为特定的温度以上的状态，在按照第二条件的控制中，控制部以比特定的温度低的温度维持加热炉的炉内的温度。优选的是，第一状态为加热炉的炉内的氧浓度为特定的浓度以下的状态，在按照第二条件的控制中，控制部以比特定的浓度高的浓度维持加热炉的炉内的氧浓度。优选的是，规定的条件以该加热炉的炉内没有被加热物为条件。优选的是，规定的条件还设为，应成为按照第二条件的控制的时间为基准恢复时间以上。优选的是，应成为按照第二条件的控制的时间通过该加热炉的预工序中有无被加热物来决定。本专利技术的存储介质为非暂时存储计算机可执行的程序的计算机可读取的存储介质，所述计算机控制用于向加热炉的炉内供给能源的供给部的动作。程序使计算机执行如下的步骤:按照第一条件使供给部动作，所述第一条件用于以在加热炉的炉内对被加热物进行热处理的第一状态维持该加热炉的炉内的状态；在规定的条件成立的情况下，按照第二条件使供给部动作，所述第二条件用于以能耗量比维持在第一状态的能耗量低的状态控制加热炉的炉内的状态；在使供给部以第二条件动作的情况下，在直到应使加热炉恢复到第一状态的时刻的剩余时间为从供给部按照第二条件动作的状态起直到使加热炉恢复到第一状态所需的时间即基准恢复时间以下时，以使加热炉维持在第一状态的方式使供给部动作。本专利技术的加热炉的控制方法为加热炉的控制装置用于控制向该加热炉的炉内供给能源的供给部的动作的控制方法。控制方法包括如下的步骤:按照第一条件使所述供给部动作，所述第一条件用于以在加热炉的炉内对被加热物进行热处理的第一状态维持该加热炉的炉内的状态；在规定的条件成立的情况下，按照第二条件使供给部动作，所述第二条件用于以能耗量比维持在第一状态的能耗量低的状态控制加热炉的炉内的状态；在使供给部以第二条件动作的情况下，在直到应使加热炉恢复到第一状态的时刻的剩余时间为从供给部按照第二条件动作的状态起直到使加热炉恢复到第一状态所需的时间即基准恢复时间以下时，以使加热炉维持在第一状态的方式使供给部动作。本专利技术的加热炉具备上述任一方面的控制装置、和用于向加热炉的炉内供给能源的供给部。根据本专利技术，控制装置在规定的条件成立的情况下，以允许加热炉的炉内的环境成为比对被加热物进行热处理的情况更低温或更高氧浓度等能耗量低的状态的方式，控制向加热炉的炉内供给能源的供给部。另外，在直到被加热物的热处理重新开始的剩余时间为基准恢复时间以下的情况下，结束这种方式下的控制，以用于对被加热物进行热处理的方式下的控制来控制供给部。由此，可实现工厂内的能耗的降低和生产效率的维持。【专利附图】【附图说明】图1是表示包含本实施方式的回流焊炉的基板处理系统的整体构成的图；图2是示意性地表示该回流焊炉的构成的图；图3是图2的回流焊炉的控制框图；图4是用于说明回流焊炉中的运转模式的切换的一例的图；图5是示意性地表示本专利技术实施方式的加热炉中的温度变化的图案的例子的图；图6是示意性地表示导入惰性环境室的基板数的时间变化的图；图7是示意性地表示由加热器消耗的电力的时间变化(实线)和自其运转开始时的累计值(点划线)的图；图8是示意性地表示惰性环境室内的第七加热工序中的环境温度的时间变化的图；图9是示意性地表示在流量计中检测的氮流量的时间变化(实线)和其累计值(点划线)的图；图10是示意性地表示由氧浓度传感器检测的氧浓度的时间变化的图；图11是在控制器中执行的、用于设定上述基准恢复时间的处理(示教处理)的流程图；图12是表示示教处理中利用的数据的一例的图；图13是示意性地表示由步骤SA90的处理表示的图表的一例的图；图14是表示用于提示抑制消耗后所预测的电能的画面的一例的图；图15是运转控制处理的流程图；图16是剩余本文档来自技高网...
【技术保护点】
一种加热炉的控制装置（100），具备用于控制向加热炉的炉内供给能源的供给部的动作的控制部（101），其中，所述控制部（101）按照第一条件使所述供给部动作，所述第一条件用于以在所述加热炉的炉内对被加热物进行热处理的第一状态维持所述加热炉的炉内的状态，在规定的条件成立的情况下，使所述供给部按照第二条件动作，该第二条件用于以能耗量比维持在所述第一状态的能耗量低的状态控制所述加热炉的炉内的状态，还具备用于存储基准恢复时间的存储部，所述基准恢复时间是从所述供给部按照所述第二条件动作的状态直到使所述加热炉恢复到所述第一状态所需的时间，所述控制部（101）在使所述供给部以所述第二条件动作的情况下，在直到应使所述加热炉恢复到所述第一状态的时刻的剩余时间为所述基准恢复时间以下时，以使所述加热炉维持在所述第一状态的方式使所述供给部动作。
【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】...
【专利技术属性】
技术研发人员：高市隆一郎，远藤真希，瓦谷诚一郎，
申请(专利权)人：欧姆龙株式会社，
类型：发明
国别省市：日本;JP
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